Sputterende teikensword hoofsaaklik gebruik in die elektroniese en inligting industrieë, soos geïntegreerde stroombane, inligting stoor, vloeibare kristal vertoon, laser geheue, elektroniese beheer toestelle, ens. Hulle kan ook gebruik word in die veld van glas coating, sowel as in slytasie weerstand materiale, hoë-temperatuur korrosiebestandheid, hoë-end dekoratiewe produkte en ander nywerhede.
Sputtering is een van die hooftegnieke vir die voorbereiding van dunfilmmateriaal.Dit gebruik ione wat deur ioonbronne gegenereer word om in 'n vakuum te versnel en saam te voeg om hoëspoed-energie-ioonstrale te vorm, die vaste oppervlak te bombardeer en kinetiese energie tussen ione en vaste oppervlakatome uit te ruil. Die atome op die vaste oppervlak verlaat die vaste stof en word op die oppervlak van die substraat neergelê. Die gebombardeer vaste stof is die grondstof vir die deponering van dun films deur sputtering, wat sputtering target genoem word. Verskeie tipes gesputterde dunfilmmateriale is wyd gebruik in halfgeleier-geïntegreerde stroombane, opnamemedia, platpaneelskerms en werkstukoppervlakbedekkings.
Onder alle toepassingsnywerhede het die halfgeleierbedryf die strengste gehaltevereistes vir teikenverstuivingsfilms. Hoësuiwer metaalverstuivingsteikens word hoofsaaklik in wafelvervaardiging en gevorderde verpakkingsprosesse gebruik. Met die vervaardiging van skyfies as 'n voorbeeld, kan ons sien dat van 'n silikonwafel tot 'n skyfie, dit deur 7 groot produksieprosesse moet gaan, naamlik diffusie (Termiese proses), Foto-litografie (Foto-litografie), Ets (Ets), Iooninplanting (IonImplant), Dunfilmgroei (Diëlektriese afsetting), Chemiese Meganiese Polering (CMP), Metalisering (Metalisering) Die prosesse stem een vir een ooreen. Die sputterteiken word gebruik in die proses van "metallisering". Die teiken word gebombardeer met hoë-energie-deeltjies deur dunfilm-afsettingstoerusting en dan word 'n metaallaag met spesifieke funksies op die silikonwafel gevorm, soos geleidende laag, sperlaag. Wag. Aangesien die prosesse van die hele halfgeleiers gevarieerd is, is 'n paar situasies nodig om te verifieer dat die stelsel korrek bestaan, so ons eis 'n paar soorte dummy-materiaal in sekere stadiums van produksie om die effekte te bevestig.
Pos tyd: Jan-17-2022